Aplicaciones
Semiconductores
Piezas de grafito de alta pureza para equipos y cámaras de proceso.
Los equipos de proceso de semiconductores viven con presupuestos de contaminación medidos en partes por millón. El grafito está presente por su combinación de pureza, resistencia al choque térmico y estabilidad — y cada pieza se mecaniza, limpia y embala a la medida del proceso al que sirve.
Por qué grafito aquí
Baja contaminación
Grafito purificado con contenido de cenizas en el rango de ppm de un solo dígito.
Estable a temperatura
La geometría de útiles y calentadores se mantiene durante los ciclos térmicos.
Manipulación limpia
El mecanizado limpio y el embalaje protector mantienen las piezas listas para la cámara.
Piezas típicas que mecanizamos
calentadores, susceptores, revestimientos de cámara, piezas de distribución de gas, útiles de fijación
Calidades: grafito isostático prensado de grano fino — seleccionado según la aplicación y confirmado con usted antes de la oferta.
¿Ejecuta este proceso?
Envíenos el plano de la pieza que compra actualmente — le ofertamos el equivalente mecanizado, con certificado de material incluido.