Halbleiter

Halbleiter-Prozessanlagen leben mit Kontaminationsbudgets, die in Millionsteln (ppm) gemessen werden. Graphit wird hier wegen seiner Kombination aus Reinheit, Thermoschockbeständigkeit und Stabilität eingesetzt — und jedes Bauteil wird passend zu dem Prozess bearbeitet, gereinigt und verpackt, den es unterstützt.