Anwendungen
Halbleiter
Hochreine Graphitbauteile für Anlagen und Prozesskammern.
Halbleiter-Prozessanlagen leben mit Kontaminationsbudgets, die in Millionsteln (ppm) gemessen werden. Graphit wird hier wegen seiner Kombination aus Reinheit, Thermoschockbeständigkeit und Stabilität eingesetzt — und jedes Bauteil wird passend zu dem Prozess bearbeitet, gereinigt und verpackt, den es unterstützt.
Warum Graphit hier
Geringe Kontamination
Gereinigter Graphit mit Aschegehalt im einstelligen ppm-Bereich.
Stabil bei Temperatur
Vorrichtungs- und Heizgeometrie bleibt unter Temperaturwechseln stabil.
Saubere Handhabung
Saubere Bearbeitung und Schutzverpackung halten Bauteile kammerbereit.
Typische Bauteile, die wir fertigen
Heizer, Suszeptoren, Kammerauskleidungen, Gasverteilungsteile, Vorrichtungen
Sorten: isostatisch gepresster Feinkorn-Graphit — je nach Einsatz ausgewählt und vor der Angebotsstellung mit Ihnen abgestimmt.
Sie betreiben diesen Prozess?
Senden Sie uns die Zeichnung des Bauteils, das Sie derzeit einkaufen — wir kalkulieren die bearbeitete Entsprechung, inklusive Materialzertifikat.