Anwendungen
Photovoltaik
Ingot-Öfen und PECVD-Anlagen laufen mit bearbeitetem Graphit.
Jeder mono- oder polykristalline Ingot wächst in einem Herzen aus Graphit: Das thermische Feld des Ofens — Heizer, Isolierhülsen, Tiegelhalter — besteht aus Graphit, ebenso die Boats, die Wafer durch die PECVD-Beschichtung tragen. Wir fertigen diese Bauteile zeichnungsgerecht, in Sorten, die Wochen bei 1.400 °C überstehen.
Warum Graphit hier
Thermische Stabilität
Graphit behält Festigkeit und Geometrie über lange Zyklen bei extremen Temperaturen — kein Verzug, keine Überraschungen durch Kriechen.
Reinheit
Hochtemperatur-Reinigung senkt den Aschegehalt in den ppm-Bereich und schützt das Silizium vor Kontamination.
Zerspanbarkeit
Komplexe Heizgeometrien, Spannfutter und Boats lassen sich sauber aus isostatisch gepressten Blöcken fertigen.
Typische Bauteile, die wir fertigen
Heizer, DS-Blöcke, Seitenplatten, Bodenplatten, Spannfutter, Gasdüsen, PECVD-Boats, Tiegel
Sorten: isostatisch gepresster Feinkorn-Graphit — je nach Einsatz ausgewählt und vor der Angebotsstellung mit Ihnen abgestimmt.
Sie betreiben diesen Prozess?
Senden Sie uns die Zeichnung des Bauteils, das Sie derzeit einkaufen — wir kalkulieren die bearbeitete Entsprechung, inklusive Materialzertifikat.